مقاله خواص نانو ساختاری لایه های نازک آلومینیوم انباشتی بر روی کوارتز : بررسی اثر پلاسمای نیتروژن و بازپخت حرارتی

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

  مقاله خواص نانو ساختاری لایه های نازک آلومینیوم انباشتی بر روی کوارتز : بررسی اثر پلاسمای نیتروژن و بازپخت حرارتی دارای ۱۳ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد مقاله خواص نانو ساختاری لایه های نازک آلومینیوم انباشتی بر روی کوارتز : بررسی اثر پلاسمای نیتروژن و بازپخت حرارتی  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله خواص نانو ساختاری لایه های نازک آلومینیوم انباشتی بر روی کوارتز : بررسی اثر پلاسمای نیتروژن و بازپخت حرارتی،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن مقاله خواص نانو ساختاری لایه های نازک آلومینیوم انباشتی بر روی کوارتز : بررسی اثر پلاسمای نیتروژن و بازپخت حرارتی :

تعداد صفحات:۱۳
چکیده:
در این تحقیق در محرحله اول ابتدا لایه های نازک آلومینیوم با ضخامت ۷۰ نانو متر با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی dc تحت شرایط انباشت یکسان بر روی زیر لایه های کوارتراتباشت شده و سپس با استفاده از دستگاه کندوپاس مغناطیسی استوانه ای لایه های آلومینیوم در زمان های متفاوت تحت تاثیر پلاسمای نیتروژن قرار گرتفه و سپس با استفاده از کوره حرارتی لایه های بدست آمده در دمای ۶۰۰ درجه سانیت گراد به مدت ۵ ساعت باپخت حرارتی شده اند برای بررسی خواص ساختاری و مورفوژیکی لایه های بدست آمده از آنالیزهای AFM,XRD استفاده شده است نتایج حاصل از XRD نشان می دهد که قبل و بعد از بازپخت فقط فاز آلومینیوم دیه میشود با این تفاوت که قبل از بازپخت راستای کریستالی (۱۱۱) بوده و پس از بازپخت راستای کریتالی به (۲۲۰) تغییر می کند نتایج حاصل از AFM نشان می دهد که مقدار زبری متوسط و RMS سطح لایه ها قبل از عملیات بازپخت حرارتی حالت با افزایش زمان پلاسما دهی کاهش یافته و پس از بازپخت افزایش یافته است.