تاثیر دمای زیرلایه بر روی خواص نانوساختاری لایه نیترید زیرکونیوم

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

 تاثیر دمای زیرلایه بر روی خواص نانوساختاری لایه نیترید زیرکونیوم دارای ۹ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد تاثیر دمای زیرلایه بر روی خواص نانوساختاری لایه نیترید زیرکونیوم  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی تاثیر دمای زیرلایه بر روی خواص نانوساختاری لایه نیترید زیرکونیوم،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن تاثیر دمای زیرلایه بر روی خواص نانوساختاری لایه نیترید زیرکونیوم :

نام کنفرانس، همایش یا نشریه : علوم و مهندسی سطح

تعداد صفحات :۹

در این تحقیق تاثیر دمای زیر لایه در محدوده ۱۰۰-۴۵۰oC برخواص ساختاری لایه های نیترید زیرکونیوم که به روش کندوپاش شعاع یونی روی زیر لایه شیشه و سیلیکون تهیه شده است، مورد بررسی قرار گرفته است. تعین ضخامت لایه ها با استفاده از آنالیز RBS (طیف پس پراکندگی رادرفورد) و تعیین فازهای کریستالی با توجه به آنالیز XRD (پراش پرتو X) انجام شده است. نتایج XRD نشان داد که با افزایش دما تا ۴۰۰oC بر میزان بلوری شدن فاز نیترات زیرکونیوم افزوده شده ولی در دمای بالاتر، کاهش یافته است. در تمامی دماها جهت فاز نیترات زیرکونیوم جهت ترجیحی است. نتایج RBS نشان داد که ضخامت لایه ZrN در دماهای بالاتر نسبت به دمای ۱۰۰oC افزایش یافته که می تواند به دلیل افزایش تشکیل مونومرهای Zr-N برای تشکیل لایه و افزایش اندازه دانه باشد و نیز کاهش ضخامت در دمای ۴۵۰oC به افزایش چگالی لایه و کاهش اندازه دانه مربوط است.

کلید واژه: نیترید زیرکونیوم، باریکه پرتو یونی، XRD و RBS