ساخت و مشخصه یابی لایه نازک سیلیکن نیترید

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

 ساخت و مشخصه یابی لایه نازک سیلیکن نیترید دارای ۵ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد ساخت و مشخصه یابی لایه نازک سیلیکن نیترید  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی ساخت و مشخصه یابی لایه نازک سیلیکن نیترید،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن ساخت و مشخصه یابی لایه نازک سیلیکن نیترید :

تعداد صفحات :۵

چکیده مقاله:

سیلیکن نیترید به عنو ان یک ماده ی مقاوم در مقابل حرا رت ویژگی های بسیا رخوبی دارد لایه نازک سیلیکن نیتریدآمور ف در دماهای بالا پایدار بو ده، مقاومت الکتریکی بالایی دا رد و نرخ نفو ذ رطوبت درآن کم است دراین پژوهش لایه نازک سیلیکن نیترید با استفاده از کندوپاش به وش RF روی زیر لایه های ژ رمانیم وکوارتز، بدون گرمادهی به زیرلایه تهیه شده است. Si3N4 سرامیکی به عنو ان ماده ی هدف انتخاب شده است. به علاوه، از ترکیبات متفاوت دوگاز ارگون و نیتروژن به عنو ان گاز کندوپاش استفاده شده است و تاثیر آنها روی ویژگی ها و ترکیب لایه های نازک بدست آمده مور د بر سی قرا گر فته است. در نهایت ترکیب و ساختارلایه نازک با استفاده از طیف سنج تبدیل فوریه فروسرخ (FT-IR) و طیف سنج مرئی فرابنفش – (UV-Visible) مشخصه یابی شده اند