سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

 سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن دارای ۲۴ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن :

تعداد صفحات :۲۴

چکیده مقاله:

اخیراً، سنسور(حسگر) فشار خازنی MEMS به دلیل حساسیت بالا، مصرف برق کم، عدم تأثیرپذیری از دما،سازگاری مدار مجتمع و غیره، مزیت بیشتری را نسبت به سنسورفشار ۱ پیزورزیستیومیکروماشینی بدست آوردهاست. کاربرد سنسورفشار خازنی در حال گسترش است، از این رو، بازبینی مسیر توسعه فنی و آینده سنسورفشارخازنی میکروماشینی ضروری است. در این مقاله بر مرور انواع گوناگون سنسورفشار خازنی، مواد MEMS به کاررفته در ساخت آن، روشهایی که در ریزساخت سیلیکون و دیافراگم مواد پلیمری پذیرفته شده اند، فناوری هایبسته بندی و اتصال تأکید می شود. نتیجه انتخابی درباره حساسیت خازنی و اثر دما بر حساسیت خازنی نیز نشانداده می شود. در نهایت، درباره ساخت سنسورهوشمند بحث می شود. سنسورفشار خازنی MEMS ، مروری برسنسورفشار، CDPS ، ساخت ممز (MEMS) ، مواد MEMS ، سنسورفشار، MEMS (دستگاه میکروالکترومکانیکی) از موارد مورد بحث ما در این مقاله می باشند.