مقاله مطالعه ترکیب شیمیایی و خواص مکانیکی لایه های نازک اکسید زیرکونیم به صورت تابعی از فشار گاز اکسیژن

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

  مقاله مطالعه ترکیب شیمیایی و خواص مکانیکی لایه های نازک اکسید زیرکونیم به صورت تابعی از فشار گاز اکسیژن دارای ۱۰ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد مقاله مطالعه ترکیب شیمیایی و خواص مکانیکی لایه های نازک اکسید زیرکونیم به صورت تابعی از فشار گاز اکسیژن  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله مطالعه ترکیب شیمیایی و خواص مکانیکی لایه های نازک اکسید زیرکونیم به صورت تابعی از فشار گاز اکسیژن،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن مقاله مطالعه ترکیب شیمیایی و خواص مکانیکی لایه های نازک اکسید زیرکونیم به صورت تابعی از فشار گاز اکسیژن :

تعداد صفحات:۱۰
چکیده:
اکسید زیر کونیوم به واسطه خواص برجسته ای نظیر سختی بالا مقاومت به خوردگی و سایش مناسب و مقاومت شیمیایی قابل قبول در هر دو حالت کپه ای و لایه نازک از مواد پرکاربرد در صنعت و فناوری است این تحقیق به مطالعه نانو ساختار ترکیب شیمیایی و خواص مکانیکی لایه های نازک اکسید زیرکونیوم تهیه شده به روش کندوپاش واکنشی مغناطیسی DC ( به ضخامت ۳۰۰nm) بر روی لایه های سیلیکون در فشارهای مختلف گاز اکسیژن (۳-۱۵ sccm ) می پردازد نتایج نشان داد که افزایش فشار گاز اکسیژن تا ۹sccm سبب بهبود سختی نمونه ها شده در حالیکه پس از آن افزایش فشار گاز اکسیژن اثر معکوس در سختی نمونه ها را دارد تحلیل های ساختاری نشان داد که این رفتار به واسطه تغییرات در آهنگ انباشت ناشی از تغییرات میزان اکسیژن در محفظه به هنگام لایه نشانی بود بررسی های مکانیکی همچنین نشان داد که مدول الاستیک لایه ها با افزایش فشار گاز اکسیژن رابطه ای عکس دارد مطالعه ترکیب شیمیایی نمونه ها که با آنالیز EDAX انجام شده ثابت کرد که این رابطه معکوس به خاطر افزایش میزان اکسیژن در ساختار لایه ها است.