مقاله بررسی اثر دما و زمان بازپخت برروی خواص مورفولوژیک فیلم نازک تانتالوم تهیه شده به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

  مقاله بررسی اثر دما و زمان بازپخت برروی خواص مورفولوژیک فیلم نازک تانتالوم تهیه شده به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم دارای ۱۳ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد مقاله بررسی اثر دما و زمان بازپخت برروی خواص مورفولوژیک فیلم نازک تانتالوم تهیه شده به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله بررسی اثر دما و زمان بازپخت برروی خواص مورفولوژیک فیلم نازک تانتالوم تهیه شده به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن مقاله بررسی اثر دما و زمان بازپخت برروی خواص مورفولوژیک فیلم نازک تانتالوم تهیه شده به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم :

تعداد صفحات:۱۳

چکیده:

دراین پژوهش ابتدا سه نمونه فیلم نازک تانتالوم به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم استوانه ای برروی زیرلایه سیلیکون با زمان کندوپاش ۱/۵ دقیقه تحت شرایط کاملا یکسان درحضور گازآرگون تهیه گردید در مرحله بعد دو نمونه از فیلم ها به مدت ۴۵ دقیقه تحت بازپخت دردو دمای متفاوت ۷۵۰ دره و ۹۰۰ درجه و یک نمونه به مدت ۶۰ دقیقه تحت بازپخت دردمای ۷۵۰ درجه قرارگرفت از آنالیز های پراش اشعه ایکس XRD میکروسکوپ نیروی اتمی AFM و آنالیز میکروسکوپ الکترونی رویشی SEM نیز به ترتیب برای تشخیص جهت ترجیحی دانه ها بررسی مورفولوژی سطح و اندازه گیری سایز دانه ها استفاده شد نتایج آنالیز XRD بیانگر شکل گیری فاز دردمای ۷۵۰ درجه و درزمان ۴۵ دقیقه می باشد با افزایش دمای باز پخت به ۹۰۰درجه تغییر فاز از به a بدون هیچ انحرافی مشاهده شد اما با افزایش زمان بازپخت نتیجه بیان شده با انحرافی معادل ۰/۲ درجه مشاهده گردید. بهدلیل تغییر فاز از به a زبری سطح نمونه ها با افزایش دما و زمان بازپخت کاهش یافت که این نتیجه توسط آنالیز میکروسکوپ نیروی اتمی AFM بدست آمد.