مقاله بررسی وابستگی بازده کندوپاش به زوایای متفاوت برخورد یونهای آرگون به یک لایه کربنی

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

  مقاله بررسی وابستگی بازده کندوپاش به زوایای متفاوت برخورد یونهای آرگون به یک لایه کربنی دارای ۵ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد مقاله بررسی وابستگی بازده کندوپاش به زوایای متفاوت برخورد یونهای آرگون به یک لایه کربنی  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله بررسی وابستگی بازده کندوپاش به زوایای متفاوت برخورد یونهای آرگون به یک لایه کربنی،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن مقاله بررسی وابستگی بازده کندوپاش به زوایای متفاوت برخورد یونهای آرگون به یک لایه کربنی :

چکیده

در این پژوهش، یک هدف کربنی، تحت تابش پرتو یون آرگون در زاویههای متفاوت، قرار گرفته است. بازده کندوپاش سطح، توزیع و عمق نفوذ باریکهی آرگون در هدف موردنظر تعیین و مورد بررسی قرار گرفته است. نرمافزار SRIM- TRIM 2008 برای محاسبهی پارامترهای توزیع و مدل سازی نفوذ یونها در هدف استفاده شدهاست. نتایج نشان می دهد با افزودن زاویه اندرکنش پرتو، از میزان عمق نفوذ کاسته میشود و همچنین یونهای آرگون توزیعی سطحی خواهند داشت؛ علاوه بر این، نتایج نشانگر افزایش بازده کندوپاش با افزایش زاویهی برخورد میباشد.

۲۲

مقدمه

پیشرفت تکنیکهای مبنی بر پرتو یونی برای تعدیل و آنـالیز سطح جامدات در دهههای گذشـته تنهـا، امکـان درک فرآینـدهای بنیادی که در طول تـابش رخ مـیدهنـد را میسـر سـاخته بـود. در نتیجهی پیچیـدگی و هـمزمـانی ایـن فرآینـدها، شـبیهسـازیهـای کامپیوتری نقش عظیمی را در این توسعه بازی کـردهانـد. از همـان ابتدا مدلسازی اندرکنشهای یون- اتم و اتم- اتم از کارهای مهیج فیزیک آنالیز عددی بود که نیازمند کامپیوترهای پرتوان بودند .[۱]
طیفسـنجی جرمـی یـون ثانویـه (SIMS) یـک روش بـرای ارزیابی نمایه آلاینده و رد آلودگی سطوح، فیلمهای نازک، فیلمهای ضخیم، ساختارهای چند لایهای و فصل مشترکها میباشد [۲] کـه در آن از یونهای اولیه باردار استفاده کرده و آنهـا را روی نمونـه متمرکز میکنند تا اتمها و مولکولهـایی کـه حـاوی خصوصـیات بالاترین لایههای اتمی ماده هستند را از سطح جدا نموده و به خلأ انتقال دهند. برای این منظور از پدیده کندوپاش اسـتفاده مـیشـود

.[۳]

نمونه مورد تحقیق، در اتاقک خلاء با باریکهای از یـونهـای اولیهی با انرژیهای چند کیلوالکترونولت، در زاویههـای برخـورد مختلف، معمولاً در محدوده خط عمود بر سطح تا ۶۰ درجه نسبت به این خط، بمباران میشود .[۲] در نتیجـهی اصـابت یـون، ذرات هدف به بیرون کندوپاش شـده و عمومـاً کسـر کـوچکی از آنهـا یونیزه میگردند. این یونها میتوانند از فضای هدف، اسـتخراج و به درون آنالیزور جرمی، جاییکه آنها طبق نسبت جرم به بارشـان جدا میگردند، فرستاده شوند و بنابراین ترکیب سطح، آنالیز عمـق و تصویری را به دست میدهد که سه بعد آنالیز ترکیب عنصری را در بر میگیرد .[۴]

میزان بازده در فرآیند کندوپاش به صورت زیـر بـه انـرژی ذرات فرودی E، انرژی بستگی ماده هدف EB و زاویـهی برخـورد از خط عمود بر سطح ۰) تا ۸۹۹ درجه) وابسته است: