مقاله اثر دز کاشت هیدروژن بر روی خواص ساختاری و نیز الکتریکی تک کریستالهای سیلیکونی

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

  مقاله اثر دز کاشت هیدروژن بر روی خواص ساختاری و نیز الکتریکی تک کریستالهای سیلیکونی دارای ۵ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد مقاله اثر دز کاشت هیدروژن بر روی خواص ساختاری و نیز الکتریکی تک کریستالهای سیلیکونی  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله اثر دز کاشت هیدروژن بر روی خواص ساختاری و نیز الکتریکی تک کریستالهای سیلیکونی،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن مقاله اثر دز کاشت هیدروژن بر روی خواص ساختاری و نیز الکتریکی تک کریستالهای سیلیکونی :

تعداد صفحات:۵

چکیده:

در این تحقیق ، اثرکاشت یون هیدروژن با انرژی ۷۰keV بر خواص میکرو-نانوساختاری(۴۰۰) p-Si بررسی شده است. برای این امر آنالیزهای پراش اشعه X (XRD)، میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) به منظور مطالعه بر روی ساختارنمونه های آسیب دیده در اثر کاشت انجام شدند. مقاومت الکتریکی صفحه ای نمونه های کاشته شده نیز توسط دستگاه چهار پروبی نقطه ای، اندازه گیری و مورد مطالعه قرار گرفتند. برطبق نتایج XRD، پهنای نصف ارتفاع پیک(۴۰۰) Si با دزهای مختلف،تغییر کرد، که این تغییرات به تنش و کرنش ایجاد شده بدلیل کاشت، مربوط بود. نتایج AFM تشکیل تاول ها و ترک های حاصل از شکافت آنهارا بواسطه تغییرات دز کاشت نمایش داد. همچنین رابطه تنگی را بین زبری حاصل از کاشت و دز بکار رفته نشان داد. نتایج آزمایش چهار پروبی نیزموید همان نتایج آنالیز AFM بوده است.