دانش رسان |
مرکز علم و دانش کشور تاثیر تغییرات دمایی بر حساسیت سنجش حسگر فشار پیزومقاومتی بهینه شده مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی
در حال بارگذاری
توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد
تاثیر تغییرات دمایی بر حساسیت سنجش حسگر فشار پیزومقاومتی بهینه شده مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی دارای ۹ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است
فایل ورد تاثیر تغییرات دمایی بر حساسیت سنجش حسگر فشار پیزومقاومتی بهینه شده مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه و مراکز دولتی می باشد.
توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی تاثیر تغییرات دمایی بر حساسیت سنجش حسگر فشار پیزومقاومتی بهینه شده مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد
بخشی از متن تاثیر تغییرات دمایی بر حساسیت سنجش حسگر فشار پیزومقاومتی بهینه شده مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی :
تعداد صفحات :۹
چکیده مقاله:
در این مقاله ، حسگر فشار پیزو مقاومت با تکنولوژی میکروتراشکاری سطحی، طراحی و شبیه سازی شده و تاثیر تغییرات پارامترهای هندسی و دما بر حساسیت سنجش بررسی و طراحی مناسب برای بهینه سازی این نوع حسگر ارایه گردیده است. فرآیند حسگری، مبتنی بر انحراف دیافراگم سیلیکون نیترید می باشد. جهت دستیابی به نتایج دقیق ، از روش المان محدود استفاده شده و بر اساس آن حساسیت خروجی سنسور فشار ارزیابی گردیده است. در ابتدا تاثیر شکل هندسی دیافراگم روی خروجی حسگر در فشارهای مختلف بررسی شده است. در ادامه اثر موقعیت مقاومت های پیزو و ابعاد آنها بر عملکرد سیستم محاسبه گردیده و بهترین شکل و موقعیت قرارگیری مقاومت های پیزو در دیافراگم نتیجه گیری شده است. در پایان نیز تاثیر تغییرات دما بر حساسیت سنجش یک حسگر فشار پیزومقاومت بهینه سازی شده محاسبه گردیده است. نتایج این شبیه سازی ها نشان می دهد که انتخاب صحیح شکل هندسی دیافراگم، ابعاد و موضع پیزو مقاومت ها، قادر به ارتقای حساسیت سنسور و در عین حال کاهش مصرف توان آن می باشد.
- در صورتی که به هر دلیلی موفق به دانلود فایل مورد نظر نشدید با ما تماس بگیرید.
