طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

 طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری دارای ۱۳ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری :

نام کنفرانس، همایش یا نشریه : مجله علوم دانشگاه شهید چمران

تعداد صفحات :۱۳

حسگرهای شار گاز با استفاده از تکنیک لایه های نازک ساخته شده اند. این حسگر از نوع گرمایی بوده و براساس اختلاف دمای ناشی از عبور جریان هوا از روی یک گرمکن الکتریکی کار می کند. عنصر حساس به دما در این حسگر، دو سری آرایه ترموکوپلی متشکل از بازوهایی از جنس نیکل و کرم است. این حسگر می تواند جریان های هوا در حدود ۱۰ sccm تا ۱۰۰۰۰ sccm را اندازه گیری نماید و به راحتی امکان تولید انبوه آن وجود دارد. طراحی و ساخت ماسک، لایه نشانی های مختلف و لیتوگرافی این لایه ها با موفقیت انجام شده است، ریزماشینکاری بر روی شیشه جهت ساخت غشا شیشه ای مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج به دست آمده از آزمایش های انجام شده بر روی این حسگرها نشان می دهد که رفتار حسگر تا ۱۰۰۰ sccm کاملا خطی است که قابل توجه می باشد. در ادامه، طرحی جدید در ساختار هندسی این افزاره که می تواند حساسیت افزاره را افزایش دهد، ارایه می شود.

کلید واژه: حسگر، ترموپیل، ریزماشینکاری، شار گاز، لایه نازک