تحقیق در مورد ساخت نانو الکترومکانیک با قابلیت تولید مجدد 

بخشی از فهرست پروژه تحقیق در مورد ساخت نانو الکترومکانیک با قابلیت تولید مجدد 

چکیده: 

۱- مقدمه: 

شکل a .1) تصویری که عملیات آشکار ساز جابجایی SET را نشان می دهد. 

۲– ویژگی های NEMS: 

شکل ۳- نمودار معرفی وسایل الکترومکانیکی چند ترمینالی 

تصویر ۲ a) تقطیق ریز نگار الکترون از Sic NEMS . 

فرکانس 

۳-۲ ضریب کیفیت (Q) 

۴-۲ مشخصه عملکرد توان عملیاتی 

۵-۲ پاسخ گویی ( واکنش پذیری) 

تصویر ۵) اندازه گیری فشار و کشش داخلی در مبدل های پرتو نانوالکترونیک شود 

جدول ۱: ویژگی های مهم برای خانواده ای از پرتوهای δi باگیر کردن مضاعف 

۶–۲ دامنه دینامیک موجود 

تصویر ۶) در این شکل دیاگرامی از مبدل تقویت کننده کاسکود NEMS نشان داده   می شود. 

۷-۲ توده فعال: 

۳- چالش های اصولی 

۱-۳ جستجوی Q بالا 

۱) اتلاف انرژی به دلیل رطوبت گاز

۲) اتلاف های موجود در تکیه گاه 

۳) اتلاف های تزریق میانی از طریق مبدل ها. 

۲-۳ نویز فاز: 

۳-۳ توسعه مبدل ها 

تصویر۱۰- دیاگرام طراحی شده ساختار نوری فضای خالی را که در دانشگاه بوستون مورد استفاده قرار گرفت نشان می دهد. 

۴-۳ ساخت نانوقابل تولید مجدد 

۴- کاربرد پدید آمده ( آغازین) 

تصویر ۱۱ a) درجه حرارت متغیر، کیروسنات میکروویو UHV برای اندازه گیری حساسیت NEMS. 

تصویر ۱۲-  تغییرات فرکانس δω/۲π استنباط شده توسط جذب اتم طلایی آتوگرام 

شکل۱۳- اطلاعات از سه وسیله دیگرSIC. 

۵- بررسی NEMS: 

شکل ۱۴- طرح یک الکترون تونلی تابع مکانیک ( ۲۵ ) . 

شکل ۱۶- a ) میکروگراف SEM که نشان دهنده پرتو مکانیکی و سیم منبع 

شکل (۱۷ )– طرح یک SET با سطح داخلی تابع مکانیکی 

شکل( ۱۸)- میکروگراف SEM نانو پیلار سیلیکون با سطح داخلی 

شکل ۱۹)طرح NEMS کلی 

۶- سیستم تشدیدگر SET- نانومکانیکی: 

۱-۶ معادله اصلی: 

۲-۶- راه حل حالت ثابت (پایدار) 

۳ – ۶  دینامیک تشدیدگر مکانیکی در رژیم تزویج ضعیف: 

دینامیک متعادل موثر دیگر NEMS ها : 

شکل ۲۳) نوسان گر متصل به یک اتصال تونل الکتریکی 

۸- نتایج : 

مقدمه:
محققان با استفاده از مواد و فرآیندهای میکروالکترونیک مدت هاست که کنترل پرتوها، چرخ دنده ها و پوسته های ماشین های میکروسکوپی را انجام داده اند که این عناصر مکانیکی و مدارهای میکروالکترونیکی که آن ها را کنترل می کنند را به طور کل سیستم های میکروالکترومکانیک یا MEMS خوانده اند. در تکنولوژی امروزی MEMS برای انجام اموری در تکنولوژی مدرن مانند باز و بسته کردن دریچه ها، ( سوپاپ ها) چرخاندن آینه ها و تنظیم جریان الکتریسیته و یا جریان نور بکار گرفته می شود. امروزه کمپانی های متعددی از غول های نیمه هادی گرفته تا راه اندازی های کوچک می خواهند ابزار MEMS را برای طیف گسترده ای از مشتریان تولید کنند. با تکنولوژی میکروالکترونیک که هم اکنون تا حد ریز میکرون پیش رفته است زمان آن رسیده که کشفیات متمرکز NEMS را آغاز کنیم.
شکل ۱ خانواده NEMS نیمه رسانا را نشان داده و مراحل تولید ساخت کلی آن را مطرح می کند. این فرآیند برای طراحی آزادانه ساختارهای نیمه رسانای نانومتر به عنوان نانوماشین سطحی می باشدکه نقطه مخالف میکروماشین بالک MEMS می باشد این تکنیک ها برای سیلکون بر ساختارهای عایق،  گالیوم آرسناید روی سیستم های آلومینیوم گالیوم، کاربید سیلکون برسیلیکون، نیترید آلومینوم بر سیلیکون، لایه های الماس          نانو بلوری و لایه های نیترید سیلکون نامنظم بکار گرفته می شود. اکثر این مواد با درجه خلوص زیاد وجود دارد که با کنترل دقیق ضخامت لایه ای رشد کرده اند.
این قسمت دوم (کیفیت کنترل لایه ای) کنترل ابعادی در بعد عمودی در سطح تک لایه ای را کنترل می کند. این مقوله کاملا منطبق با دقت ابعادی جانبی لیتوگرافی  پرتوالکترونی است که به مقیاس اتمی نزدیک می شود.
NEMS دارای ویژگی های چشمگیری می باشد. آن ها دسترسی به فضای پارامتری را که غیر پیش بینی است را فراهم می کنند؛ فرکانس های مقاومت تشدیدی در میکرویو، ضریب کیفیت مکانیکی در دهها هزار، توده های فعال در femtogram، ظرفیت گرمایی پایین تر از یوکتوکالری و …
این ویژگی ها تصورات و سیل افکار برای تجربیات و آزمایشات هیجان انگیز را بوجود می آورد و در عین حال تعداد زیادی سؤالات غیرقابل پیش بینی و نگرهایی های بیشماری را نیز بدنبال دارد از جمله این سؤالات: چگونه مبدل ها در مقیاس نانو مشخص می شوند؟