طراحی و بهینه سازی یک حسگر فشار نوین خازنی مبتنی بر تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS)

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

 طراحی و بهینه سازی یک حسگر فشار نوین خازنی مبتنی بر تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) دارای ۱۳ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد طراحی و بهینه سازی یک حسگر فشار نوین خازنی مبتنی بر تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS)  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی طراحی و بهینه سازی یک حسگر فشار نوین خازنی مبتنی بر تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS)،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن طراحی و بهینه سازی یک حسگر فشار نوین خازنی مبتنی بر تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) :

تعداد صفحات :۱۳

چکیده مقاله:

در این مطالعه یک سنسور فشار نوین مبتنی بر مکانسیم خازنی با طرح الکترودهای ایستانده در قالب شانه های خازنی که نقش الکترودی حسگری را بازی خواهد کرد ارائه می شود. این طرح حساست بیشتر با قابلیت مجتمع پذیری بالاتر و نرخ دینامیکی بهتر را به ارمغان می آورد. حساسیت یکی از پارامترهای بسیار مهم در طراحی سنسورها می باشد که در سنسورهای فشار خازنی متداول با کاهش فاصله ی هوایی بین الکترودهای حسگر و دیافراگم و یا افزایش ابعاد دیافراگم برای خمش بیشتر با اعمال فشار کمتر بدست می آید. تغییر در این دو پارامتر برای دست یابی به حساسیت بیشتر، همواره با محدودیت هایی همراه است. در این مطالعه با ارائه ی ساختار شانه خازنی به عنوان الکترودها حسگر، تاثیر هر دو پارامتر موثر در حساسیت را همزمان در اختیار گرفته و می توانیم یک سنسور با حساسیت بالا بسازیم. شبیه سازی، تحلیل و بهینه سازی این سنسور با روش FEM (Finite Element Analyze) در محیط ANSYS صورت گرفته است. در این مطالعه نرخ همپوشانی مساحت الکترودها از مقدار ۱۰% تا ۹۰% شبیه سازی می شود. همچنین برای ابعاد دیافراگم که فشار بر روی آن اعمال خواهد شد، دو مقدار ۵۰۰m2؛×۵۰۰ و ۱۰۰۰m2؛×۱۰۰۰ برای مساحت کل سنسور شبیه سازی می شود. تغییرات فشار اعمالی به سطح دیافراگم نیز درباره ی صفر الی ۱۰۰ کیلو پاسکال برای این ساختار پیشنهادی مد نظر گرفته شده است. بیشترین حساسیت ۶۶ fF/KPa در نرخ مساحت ۱۰% و ابعاد سنسور ۱mm2؛×۱ بدست آمد.