بررسی تاثیر نیتروژن ورودی در خواص نانومکانیکی فیلم نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

 بررسی تاثیر نیتروژن ورودی در خواص نانومکانیکی فیلم نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی دارای ۹ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد بررسی تاثیر نیتروژن ورودی در خواص نانومکانیکی فیلم نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی بررسی تاثیر نیتروژن ورودی در خواص نانومکانیکی فیلم نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن بررسی تاثیر نیتروژن ورودی در خواص نانومکانیکی فیلم نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی :

تعداد صفحات :۹

چکیده مقاله:

امروزه نیترید تانتالوم به دلیل خواص بسیار مطلوبی که دارد، استفاده زیادی در صنعت پیدا کرده است. به دلیل دیرگداز بودن این فلز، بهترین راه برای ایجاد لایههای نازک از ترکیبات آن، استفاده از روش کندوپاش است. اما به دلیل تنوع فازی که در سیستم تانتالوم- نیتروژن وجود دارد،پوششهای نیتریدی تولید شده با این روش، گستره وسیعی از خواص مکانیکی را نشان میدهد. دراین پژوهش، با تغییر میزان نیتروژن در گازورودی به محفظه لایهنشانی، پوششهای مختلف ایجاد و خواص مکانیکی آن با استفاده از روش سختی سنجی نانو اندازه گیری شده و از آنالیز اشعه ایکس و میکروسکوپ الکترونی روبشی جهت مشخصه یابی فیلمهای نازک نیترید تانتلوم استفاده شد. در نتیجه این پژوهش مشخص شد که با افزایش درصد نیتروژن در گاز ورودی به محفظه لایه نشانی، نیترید تانتالوم از -Ta2N به-TaN و سپس به -TaN تغییر فاز داده که این موضوع سبب کاهش سختی و افزیش انرژی جذب شده در اثر تغییر فرم پلاستیک خواهد شد