بررسی تأثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخار سیلیسیم در محیط پلاسما

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

 بررسی تأثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخار سیلیسیم در محیط پلاسما دارای ۱۶ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد بررسی تأثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخار سیلیسیم در محیط پلاسما  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی بررسی تأثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخار سیلیسیم در محیط پلاسما،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن بررسی تأثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخار سیلیسیم در محیط پلاسما :

تعداد صفحات :۱۶

چکیده مقاله:

لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما یکی از پرکاربردترین روش های لایه نشانی است که معمولاً در دماهای کمتر از ۲۵۰ درجه سانتیگراد صورت می گیرد. در این روش، بجای انرژی گرمایی از ذرات انرژی دار برای انجام واکنش، استفاده می شود تا لایه نشانی بتواند در دمای پایین و با سرعت قابل قبولی صورت گیرد. در این سیستم، توان الکتریکی با ولتاژ نسبتاً بالا و در فشار پایین برای یونیزه کردن گاز فراهم می شود که باعث شکستن مولکول های گاز به الکترون ها و یون ها می شود. در مقاله حاضر لایه نشانی فیلم نازک سیلیکن (Si) در راکتور PECVD شبیه سازی شده و فرآیند تشکیل Si بر روی زیرلایه مورد بحث و بررسی قرار گرفته است. ورودی رآکتور، گاز سیلان ((SiH(4)، به عنوان گاز اصلی واکنش دهنده می باشد که محیط پلاسما را ایجاد می کند. در این شبیه سازی محیط گازی، محیطی پیوسته، جریان گاز جریانی آرام و سرعت ورودی گاز برابر با ۰/۱ متر بر ثانیه فرض شده است. از اثرات تابش صرف نظر شده و گازها در محیط پلاسما ایده آل در نظر گرفته شده اند. در نتیجه این شبیه سازی که با استفاده از نرم افزار فلوئنت انجام شده است. نرخ لایه نشانی Si و همچنین پروفیل لایه نشانی محاسبه شده و اثر ۳ پارامتر مختلف سرعت ورودی، مولار گاز و دمای سطح روی لایه نشانی مورد بحث و بررسی قرار گرفته است.