دانش رسان |
مرکز علم و دانش کشور مقاله طراحی و ساخت سنسور دمای نیکلی میکرو الکترو مکانیکی
در حال بارگذاری
توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد
مقاله طراحی و ساخت سنسور دمای نیکلی میکرو الکترو مکانیکی دارای ۵ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است
فایل ورد مقاله طراحی و ساخت سنسور دمای نیکلی میکرو الکترو مکانیکی کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه و مراکز دولتی می باشد.
توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله طراحی و ساخت سنسور دمای نیکلی میکرو الکترو مکانیکی،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد
بخشی از متن مقاله طراحی و ساخت سنسور دمای نیکلی میکرو الکترو مکانیکی :
تعداد صفحات:۵
چکیده:
ازتکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی که به اختصارMEMS نامیده میشود برای ساخت یکسنسوردما استفاده کرده ایم لایه نازکی ازجنس نیکل به عنوان المان حساس به دما برروی یک زیرلایه سیلیکونی باروش تبخیر حرارتی نشانده شده است ضریب خطی بودن منحنی دما مقاومت لایه نازک نیکل دربازه دمایی ۲۵تا۱۰۰درجه سانتیگراد به ۰۹۹۹۶ رسید ضریب انبساط دمایی آن نیز -۳//C10×۳ می باشد لایه عایق بین المان نیکلی و زیرلایه سیلیکونی به روش اکسیداسیون خشک ساخته شد سایز بسیار کوچک این سنسور دمای مقاومتی سرعت پاسخ دهی را به شدت بالا می برد به علاوه خواص خوب نیکل آن را تبدیل به یک سنسوربادقت بالا تکرار پذیر و پایداردربازه دمایی ۲۵تا۲۳۰درجه کرده است درادامه کاریک مجموعه ازمایشگاهی برای کالیبراسیون سنسور و یکمداربازخوانی برای خواندن سیگنال خروجی سنسور طراحی و ساخته شد
- در صورتی که به هر دلیلی موفق به دانلود فایل مورد نظر نشدید با ما تماس بگیرید.
