مقاله طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی مستقیم لیزری با دقت ۱ میکرومتر

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

  مقاله طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی مستقیم لیزری با دقت ۱ میکرومتر دارای ۸ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد مقاله طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی مستقیم لیزری با دقت ۱ میکرومتر  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی مستقیم لیزری با دقت ۱ میکرومتر،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن مقاله طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی مستقیم لیزری با دقت ۱ میکرومتر :

تعداد صفحات:۸

چکیده:

یک سامانه لیتوگرافی لیزری برای تولید ماسک با دقت ۱ میکرون طراحی و ساخته شده است درساخت سکوی X-Y ازحسگر جابجایی تداخل سنج مایکلسون با دقت ۱۵۸/۲nm بعنوان فیدبک جابجایی استفاده شده است درسیستم خودکانون از روش مبتنی برروش آستیگماتیسم استفاده شده است حساسیت سیستم خودکانون ساخته شده حدود۲۰ mV/m می باشد سرعت لیتوگرافی سامانه حدود ۱/۴۷mm/min و حداکثر ابعاد لیتوگرافی ۲×۲cm2 است سکوی سامانه قادر است تاجابجایی های ناخواسته ناشی از ضربه و نوسانات محیطی را بخوبی جبران واصلاح نماید پهنای خط متوسط سامانه ۱mm با غیریکنواختی کمتر از ۱۴% است.