دانش رسان |
مرکز علم و دانش کشور مقاله مقایسه نفوذ فلورین در سطح شیشه در فرایند شکست مولکولهای گاز SF6 در مجاورت هدف شیشه ای توسط لیزر اگزایمر از فشارهای مانومتری تا بارومتری
در حال بارگذاری
توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد
مقاله مقایسه نفوذ فلورین در سطح شیشه در فرایند شکست مولکولهای گاز SF6 در مجاورت هدف شیشه ای توسط لیزر اگزایمر از فشارهای مانومتری تا بارومتری دارای ۵ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است
فایل ورد مقاله مقایسه نفوذ فلورین در سطح شیشه در فرایند شکست مولکولهای گاز SF6 در مجاورت هدف شیشه ای توسط لیزر اگزایمر از فشارهای مانومتری تا بارومتری کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه و مراکز دولتی می باشد.
توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله مقایسه نفوذ فلورین در سطح شیشه در فرایند شکست مولکولهای گاز SF6 در مجاورت هدف شیشه ای توسط لیزر اگزایمر از فشارهای مانومتری تا بارومتری،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد
بخشی از متن مقاله مقایسه نفوذ فلورین در سطح شیشه در فرایند شکست مولکولهای گاز SF6 در مجاورت هدف شیشه ای توسط لیزر اگزایمر از فشارهای مانومتری تا بارومتری :
تعداد صفحات:۵
چکیده:
چنانچه تپ های متعدد لیزر اگزایمر ArF پس از کانونی شدن از میان محیط گازی SF6 عبور کرده و برسطح سیلیکون فرود ایند شاهد شکست مولکولهای SF6 هستیم که به علت متفاوت بودن انرژی فوتونهای تشکیل دهنده پرتولیزر با اختلاف ترازهای انرژی مولکولهای SF6 انتظار می رود این شکست مولکولی براثر برخورد ذرات کنده شده از سطح سیلیکون توسط لیزر با مولکولهای گاز روی داده باشد در ادامه این فرایند یونهای فلورین دار در سطح سیلیکون نفوذ کرده و با سطح واکنش شیمیایی می نمایند. دراین مقاله میزان نفوذ این یونها در سطح سیلیکون د رفشارهای چند صد میلی بار و کمتر از یک میلی بار مقایسه شده و نتایج موردبررسی قرارگرفته اند.
- در صورتی که به هر دلیلی موفق به دانلود فایل مورد نظر نشدید با ما تماس بگیرید.
