دانش رسان |
مرکز علم و دانش کشور مقاله ساخت سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT
در حال بارگذاری
توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد
مقاله ساخت سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT دارای ۱۰ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است
فایل ورد مقاله ساخت سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه و مراکز دولتی می باشد.
توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله ساخت سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد
بخشی از متن مقاله ساخت سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT :
تعداد صفحات:۱۰
چکیده:
لایه نازک ) Lead zirconate titanate {Pb(Zr,Ti)O3} ) PZT بطورگسترده ای در سنسورها و محرک ها مورد استفاده قرار م ی گ یرد . در این مقاله گزارش ی از ساخت سنسور فشار مبتن ی بر لا ی ه نازک PZT ارائه شده است . ای ن سنسور دارا ی دیافراگمی چند لا یه متشکل از لا یه ها ی SiO2/Ti/Pt/PZT/Au به اندازه ۳mm×۳mm م ی باشد که مراحل ساخت دیافراگم بطور مختصر در این مقاله نشان داده شده است . برای به ینه ساز ی مشخصات د ینامیکی سنسور و پارامترها ی ساختار ی آن و همچن ین برا ی بدست آوردن فرکانس ها ی رزونانس اصل ی د یافراگم از روش اجزا ی محدود و نرم افزار ANSYS استفاده شده است . فرکانس رزونانس اصل ی سنسور بدون اعمال فشار خارج ی ۱۸,۴ kHz بدست آمده است . ای ن سنسور در محدوده فشارهایی در حدود ۲۰ mbar تا ۱۴۰ mbar بصورت کاملا خط ی و با حساس یت بالا عمل م ی نما ید و با اعمال فشار خارج ی دارای شیفت فرکانسی۱۱۶,۲۵ Hz.mbar -1 می باشد . حساسیت نرمالیزه شده این سنسور نی ز۱ ۵۰۱۰ ppm.mbarبدست آمده است
- در صورتی که به هر دلیلی موفق به دانلود فایل مورد نظر نشدید با ما تماس بگیرید.
