مقاله تأثیر پخت حرارتی بر مقاومت الکتریکی وساختار فیزیکی لایه های شبه الماس کربنی با نفوذ مس ساخته شده به روش RF-PECVD

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

  مقاله تأثیر پخت حرارتی بر مقاومت الکتریکی وساختار فیزیکی لایه های شبه الماس کربنی با نفوذ مس ساخته شده به روش RF-PECVD دارای ۵ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد مقاله تأثیر پخت حرارتی بر مقاومت الکتریکی وساختار فیزیکی لایه های شبه الماس کربنی با نفوذ مس ساخته شده به روش RF-PECVD  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله تأثیر پخت حرارتی بر مقاومت الکتریکی وساختار فیزیکی لایه های شبه الماس کربنی با نفوذ مس ساخته شده به روش RF-PECVD،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن مقاله تأثیر پخت حرارتی بر مقاومت الکتریکی وساختار فیزیکی لایه های شبه الماس کربنی با نفوذ مس ساخته شده به روش RF-PECVD :

تعداد صفحات:۵

چکیده:

برای ساخت لایه های نازک کربن شبه الماس بی ریخت با ناخالصی فلز از روش انباشت از فاز بخار شیمیایی با استفاده از پلاسمای ناشی از امواج رادیویی (RF ) و وارد کردن گاز استیلن استفاده کردیم . بدین ترتیب لایه های نازک کربن – مس را(Cu-DLC ) بر روی زیر لایه ی سیلیکن و شیشه رشد دادیم . پس از ساخت، لایه هادر دماهای متفاوت وزمان ثابت در حضور گاز آرگون با فشار اتمسفر باز پخت شدند . سپس به کمک طیف سنجی امواج ایکس (XRD) ، پس پراکندگی راترفورد (RBS) ، AFM و مقاومت سنجی ) ) four probe قبل و بعد از پخت ب ررسی شدند . مشاهده شد که با تغییرفشار اولیه می توان لایه هایی با مقاومت الکتریکی متفاوت داشت، با افزایش دما در باز پخت نمونه ها، ضخامت، مقاومت الکتریکی و زبری سطح کاهش می یابد . در ضمن افزایش دما تا حدی باعث رشد نانو دانه های مس می گردد .