دانش رسان |
مرکز علم و دانش کشور شبیه سازی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی MEMS با استفاده از فنر L شکل و ۲۵ حفره در دیافراگم
در حال بارگذاری
توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد
شبیه سازی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی MEMS با استفاده از فنر L شکل و ۲۵ حفره در دیافراگم دارای ۶ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است
فایل ورد شبیه سازی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی MEMS با استفاده از فنر L شکل و ۲۵ حفره در دیافراگم کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه و مراکز دولتی می باشد.
توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی شبیه سازی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی MEMS با استفاده از فنر L شکل و ۲۵ حفره در دیافراگم،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد
بخشی از متن شبیه سازی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی MEMS با استفاده از فنر L شکل و ۲۵ حفره در دیافراگم :
تعداد صفحات :۶
چکیده مقاله:
در این مقاله مدل خاصی از ساختار یک میکروفون خازنی تولید شده با تکنولوژی MEMS معرفی و نتایج آن مورد بررسی قرار خواهد گرفت. میکروفون های خازنی MEMS ساختاری مشابه با خازن داشته و از دو صفحه موازی، و فاصله هوایی بین این دو صفحه دارند. صفحه بالایی که فشار امواج صوتی به آن برخورد می کند دیافراکم، و صفحه پایینی که مکمل ساختار خازنی میکروفون است، صفحه پشتی نام دارد. در ساختار پیشنهادی از چهار فنر L شکل و ۲۵ حفره برای کم کردن مقاومت هوایی بین دو صفحه، بر روی دیافراگم استفاده شده است. در این میکروفون ابعاد دیافراگم برابر با ۵۰۰ در ۵۰۰ میکرومتر، فاصله هوایی ۱ میکرومتر و اندازه حفره های روی دیافراگم ۲۰ در ۲۰ میکرومتر در نظر گرفته شده اند. در ساختار پیشنهادی، ولتاژ Pull-in برابر با ۲.۹ ولت، حساسیت مکانیکی برابر با ۶.۹۸۲ نانومتر بر پاسکال و فرکانس رزونانس برابر ۳۳.۷۶۷ کیلوهرتز بدست آمد.
- در صورتی که به هر دلیلی موفق به دانلود فایل مورد نظر نشدید با ما تماس بگیرید.
