دانش رسان |
مرکز علم و دانش کشور مقاله تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر
در حال بارگذاری
توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد
مقاله تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر دارای ۲۴ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است
فایل ورد مقاله تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه و مراکز دولتی می باشد.
توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد
بخشی از متن مقاله تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر :
تعداد صفحات :۲۴
با توسعه ریزفناوری میکروماشینکاری و میکروالکترونیک، میکروهیترها کاربردهای زیادی در میکروحسگرها پیدا کردهاند. یکنواختی توزیع دما یکی از عوامل تاثیرگذار در افزایش حساسیت و دقت یک حسگر گازی است که در آن هیتر استفاده شده است. در این مقاله روش قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک به منظور بهبود یکنواختی گرما در میکروهیتر، مورد بررسی قرار گرفته است. دو میکروهیتر پلاتینی با ساختار غشای معلق بر روی بستر سیلیکون و بر پایه فناوری میکروماشینکاری حجمی طراحی، ساخته و مشخصهیابی شدهاند. در میکروهیتر اول از لایه نازک سیلیکون به ضخامت µm10 در زیر غشای دیالکتریک استفاده شده است در حالیکه میکروهیتر دوم بدون این لایه ساخته شده است. نتایج شبیهسازی نشان میدهد که با قرار دادن لایه نازک سیلیکون، یکنواختی توزیع دما و استحکام مکانیکی بهبود مییابد درحالیکه توان مصرفی و پاسخ زمانی افزایش مییابد. همچنین نتایج تجربی به نتایج حاصل از شبیهسازی بسیار نزدیک است و نشان میدهد که میکروهیتر با لایه نازک سیلیکون به ضخامت µm10 برای رسیدن به دمای oC500 دارای توان مصرفی و پاسخ زمانی mW50 و ms23/4 بهترتیب میباشد ولی میکروهیتر ساخته شده بدون این لایه، برای رسیدن به این دما دارای توان مصرفی و پاسخ زمانی mW13 و ms4/2 است.
- در صورتی که به هر دلیلی موفق به دانلود فایل مورد نظر نشدید با ما تماس بگیرید.
