سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی دو مدی

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

 سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی دو مدی دارای ۱۶ صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی دو مدی  کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه  و مراکز دولتی می باشد.

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی دو مدی،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

بخشی از متن سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی دو مدی :

تعداد صفحات :۱۶

چکیده مقاله:

در این مقاله دو سنسور فشار میکروالکترومکانیکی مبتنی بر تکنولژی MEMS گزارش می شود. ابعاد این ساختارها برابر ۲۰m *20m *400m است. اما ابعاد غشاهای آن برای تولید مد موجی برابر ۲m *20m *200m می باشد به عبارتی ضخامت غشا m 2 است. مد موجی سنسور دو غشایی تحت اعمال فشار ۶۰۰Mpa0 جابجایی فرکانسی ۲/۱۸MHz را دارا می باشد اما سنسور فشار تک غشایی میکروالکترومکانیکی تحت همان اعمال فشار جابجایی فرکانسی معادل ۲/۷۵MHz را دارد. فرکانس ارتعاش مد موجی بیست و ششم در سنسور فشار میکرو الکترومکانیکی تک غشایی ۱۲۰/۹۹MHzو در سنسور فشار دو غشایی ۱۱۸/۲۹MHZ است. این سنسورها در نرم افزار ANSYS طراحی و شبیه سازی شده اند.